高纯度碳纳米管阵列材料

信息来源: 发布日期:2022-10-12


半导体单壁碳纳米管由于其超小的管径(1-3 nm)、超高的本征迁移率(大于100000cm²/(Vs))和超长的载流子平均自由程(一般大于1μm),而被作为下一代集成电路最重要的备选材料。然而要实现碳纳米管在集成电路上的优势,最关键的就是获得符合集成电路要求的碳纳米管材料:半导体性碳纳米管的纯度大于99.9999%,并且需要以单分散的状态等间距(5nm-10nm)均匀排列在整个晶圆上。北京大学团队最近开发的多次提纯方案,成功把半导体碳纳米管的纯度做到99.99995%的水平,并且在碳纳米管自组装方面,该课题组也开创性的发明了“维度限制法”的技术方案,成功的在8英寸基底上实现了全覆盖高密度的碳纳米管平行阵列的制备,引起国际社会高度关注。该研究成果发表在Science 368 (2020) 850。